量子級潔凈守衛(wèi)者——解密丹佳智能凈化空調(diào)的微控法則
青島西海岸某晶圓廠的無塵車間內(nèi),丹佳自主研發(fā)的iClean Pro凈化空調(diào)機組正以0.001℃的溫控精度守護(hù)著芯片制造的黃金環(huán)境。機組內(nèi)置的128組納米級傳感器,可實時捕捉粒徑≥0.01μm的微粒濃度,與三級過濾系統(tǒng)聯(lián)動作業(yè):初效過濾器攔截5μm以上顆粒,中效層捕獲0.5μm粉塵,末端PTFE超濾膜對0.1μm微粒截留率達(dá)99.9997%。
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